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按照ICP光譜儀分析方法和分析條件的類似性，其應用范圍為:

(1)鋼鐵及其合金分析。低合金鋼、工具鋼、不銹鋼、高溫合金鋼、粉末冶金、鑄鐵、鐵合金、純鐵及其氧化物等。

(2)有色金屬及其合金。純鋁及其合金、純銅及其合金、純鎂及其合金、純鋅及其合鎳及其合金、難溶合金，貴金屬及其稀土合金等。

(3)環(huán)境樣品。土壤、水體、固體廢物、大氣飄塵、煤飛灰及污水等。

(4)巖石和礦物及其硅酸鹽。各種礦石、煤炭、陶瓷、玻璃、水泥及耐火材料等。

(5)生物樣品。血液、血清、尿液、毛發(fā)及動物組織等。

(6)食品和飲料。糧食、蔬菜、食用油、水果、飲料、糕點、糖果、茶葉及海產(chǎn)品等。

(7)化工產(chǎn)品。無機鹽類及電鍍液等。

(8)有機產(chǎn)品。潤滑油、成品油、廢油及食用油等。

(9)電子產(chǎn)品和高分子材料。電路板、塑料、橡膠和其他高分子材料。

按照成分含量的高低，其應用范圍:

常量分析0.X%～20%；微量分析0.00X%～0.X%痕量分析0.0000X%-0.000X%,一般需要分離和富集。

對于ICP光譜儀測定元素含量20%以上的樣品，在一般情況準確度難于達到要求，但是可以采用內(nèi)標法來解決，在高含量元素進行分測試時，內(nèi)標元素作用更為明顯，用內(nèi)標法測定含量大于O.X%的元素，測定值的RSD可以降到小于1%。